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    半導體廠送風系統(tǒng)是半導體生產環(huán)境中比較重要的組成部分，因為它需要提供潔凈、穩(wěn)定、溫度和濕度可控的空氣環(huán)境，以滿足半導體制造對環(huán)境控制的要求。以下是一個簡化的半導體廠送風系統(tǒng)工程方案：

    1.工程前期的規(guī)劃與評估

    -需求分析：評估半導體生產車間的生產規(guī)模、生產工藝要求，確定送風系統(tǒng)的風量、風速以及需要控制的室內環(huán)境參數(shù)。

    -場地勘測：了解車間布局，考慮送風系統(tǒng)的管道走向、出口位置以及與車間的其他系統(tǒng)的兼容性。

    -技術規(guī)格書編寫：根據(jù)需求分析結果，編寫送風系統(tǒng)的技術規(guī)格書，包括系統(tǒng)設計的風量、風速、溫度、濕度、潔凈度等級等。

    2.系統(tǒng)設計

    -送風系統(tǒng)設計：包括風機選型、管道設計（風管尺寸、風管材質）、送風口設計等。

    -環(huán)境控制系統(tǒng)設計：包括溫濕度控制、潔凈度控制、壓力控制等。

    -自動化控制系統(tǒng)設計：設計送風系統(tǒng)的自動化控制方案，確保系統(tǒng)運行的穩(wěn)定性和效率。

    3.設備選型與采購

    -風機選型：選擇符合生產環(huán)境需求的離心風機或軸流風機。

    -空氣處理設備：如空氣過濾器、加濕器、除濕器等。

    -自動化控制設備：選擇合適的PLC、傳感器、執(zhí)行器等自動化元件。

    4.施工與安裝

    -管道安裝：按照設計圖紙進行風管的制作和安裝。

    -設備安裝：包括風機、空氣處理設備等主要設備的安裝。

    -自動化控制系統(tǒng)安裝：安裝自動化控制元件，并進行初步調試。

    5.系統(tǒng)調試與測試

    -單機調試：對每一臺設備進行單獨的調試，確保其正常運行。

    -聯(lián)動調試：測試整個系統(tǒng)的聯(lián)動效果，包括風量、風速、溫度、濕度的控制是否達到設計要求。

    -潔凈度測試：對送風系統(tǒng)進行潔凈度測試，確保滿足半導體生產環(huán)境的潔凈度要求。

    6.培訓與交付

    -操作培訓：對廠家的操作人員進行系統(tǒng)操作和維護的培訓。

    -系統(tǒng)交付：完成所有調試工作后，將系統(tǒng)正式交給用戶。

    7.后期維護與服務

    -定期檢查：定期對送風系統(tǒng)進行檢查和維護。

    -技術支持：提供必要的技術支持，解決用戶在系統(tǒng)運行過程中遇到的問題。

    在整個送風系統(tǒng)工程方案的實施過程中，需要嚴格遵守相關的標準和規(guī)定，確保工程質量符合半導體生產的要求。同時，也要考慮到系統(tǒng)的經(jīng)濟性、節(jié)能性和可靠性。